目前的超精细加工，以不改动工件资料物理特性为前提，以取得极限的形状精度、尺度精度、外表粗糙度、外表完整性(无或很少的外表损害，包括微裂纹等缺点、残余应力、安排变化)为目标。

超精细加工的研讨内容，即影响超精细加工精度的各种因素包括：超精细加工机理、被加工资料、超精细加工设备、超精细加工东西、超精细加工夹具、超精细加工的检测与误差补偿、超精细加工环境(包括恒温、隔振、洁净操控等)和超精细加工工艺等。一直以来，国内外学者围绕这些内容展开了体系的研讨。超精细加工的开展阅历了如下三个阶段。

1）20世纪50年代至80年代，美国率先开展了以单点金刚石切削为代表的超精细加工技能，用于航天、国防、地理等范畴激光核聚变反射镜、球面、非球面大型零件的加工。

2）20世纪80年代至90年代，进入民间工业的使用初期。美国的摩尔公司、普瑞泰克公司，日本的东芝和日立，以及欧洲的克兰菲尔德等公司在政府的支持下，将超精细加工设备的商品化，开端用于民用精细光学镜头的制作。单超精细加工设备仍然稀疏而昂贵，主要以专用机的方式订制。在这一时期还呈现了可加工硬质金属和硬脆资料的超精细金刚石磨削技能及磨床，但其加工效率无法和金刚石车床相比。

3）20世纪90年代后，民用超精细加工技能逐步老练。在汽车、能源、医疗器材、信息、光电和通信等工业的推动下，超精细加工技能广泛使用于非球面光学镜片、超精细模具、磁盘驱动器磁头、磁盘基板、半导体基片等零件的加工。跟着超精细加工设备的相关技能，例如精细主轴部件、翻滚导轨、静压导轨、微量进给驱动装置、精细数控体系、激光精细检测体系等逐步老练，超精细加工设备成为工业界常见的出产设备。此外，设备精度也逐步挨近纳米级水平、可加工工件的尺度范围也变得更大，使用越来越广泛。跟着数控技能的开展，还呈现了超精细五轴铣削和飞切技能。已经能够加工非轴对称非球面等复杂零件